特殊炭素製品

●シリコン単結晶、多結晶用引揚炉用
　部品
　　→ヒーター、坩堝、カーボン断熱材、
　　カーボンフェルト
　　C/Cコンポジット部品　他各種部品

●ヒーター（光ファイバー用）　●ルツボ
●サセプター　●ダミーウエハ　●熱処理用治具 ●プラズマCVD用部品

シリコン単結晶の引上げ用ルツボ、加熱用ヒーターとして高純度グラファイトが使用されています。 また、ウエハの熱処理用サセプター、ダミーウエハ、各種熱処理用パーツの加工の他、表面処理、純化処理等にも対応し、 先端産業向けに広く貢献しております。